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| https://www.monotaro.com/p/0362/3895/ | 2026/05/27 06:31:46 |
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エフコン
マスフローコントローラーC1000 N/C C1005NC-4S2シリーズ |
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| 特長： | ノーマルクローズ仕様 |
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| 仕様： | ●流量：F.S.20sccm●接続：1/4インチSWL相当●ガス種類：N2●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15〜35℃)●応答性：6sec●流量制御範囲：5〜100%FS●入出力：アナログ信号(0〜5VDC)●バルブ形式：N/Cノーマルクローズ●再現性：±0.2%FS●動作圧力範囲：50〜300kPa●耐圧：1MPa(G)●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム●電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA●通信方式：アナログ0〜5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)●サイズ：127×25.5×100mm |
| アズワン品番： | 67-8168-57 |
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