| 特長: | ・【クリーンルーム向けイグチベアーの特長】・ガラス基板にキズをつけないデュポンベスペルをはじめ、PBI やPEEK に代表される、各種エンジニアリングプラスティックを採用。・極限までパーティクル(発塵)の発生を抑えた、ISB独自のクリーン化テクノロジーを搭載。・ISB 洗浄からクリーンパックまで使用環境に合わせた脱脂洗浄が可能。・ユーザーの特殊用途に合わせた特型製品の製作が可能。・【クリーンルーム向けイグチベアーの採用メリット】・ガラス基板位置決め時の摩擦抵抗値が従来のピン方式の約1/10に低減。・滑り方式のピンに比べ、転がり方式のイグチベアーは長期的に安定した低摩擦抵抗で、ガラス基板のアライメントが可能。・摩擦抵抗値の低下により、ガラス基板の割れが極端に減少。ローダー、アンローダー部や各処理工程での歩留まり改善が可能。・【ISCS-10の特長】・ISCS 型の標準洗浄仕様は、ISB 洗浄となっておりますが、その他の洗浄も可能となります。・使用荷重については、御使用環境上、様々なケースがございますので、表記しておりません。ご不明な点は、お問い合わせください。・搬送用途での使用を御検討の場合は、お問い合わせください。・本体及びキャップにつきましては、成型品となります。POM(黒色)に変更が可能です。 |
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