| 特長: | 半導体材料ガスの漏えいをすばやくキャッチ。
手にスッポリと収まるコンパクトボディ。
1台でさまざまな半導体材料ガスに対応(アルシン・ホスフィン・ジボラシ・シラン・水素など)
ごく微量なガスを検知可能。漏えい箇所を見逃しません。
アラームアンプを2ヶ所に搭載。手元でランプが光るので、警報がわかりやすい。
わかりやすいLCD画面を搭載。電池残量や警報音・操作音のON/OFFなどがわかりやすい。 |
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| 検知対象ガス: | アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素 |
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| 濃度(ppm): | 検知可能/アルシン:0.5、ホスフィン:0.3、ジボラン:0.2、シラン:0.5、水素:1.0 |
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| 付属品: | レザーケース、ドレンフィルタ、交換用フィルタエレメント、アタッチメント、点検ガス、ハンドストラップ、単3形アルカリ乾電池2本 等 |
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| 質量(g): | 約190(電池、レザーケース含む) |
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| 使用温度範囲(℃): | 0～40 85%RH以下(但し、結露なきこと) |
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| 電源: | 単3形アルカリ乾電池2本 |
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| 表示: | 検知表示/断続音及びアラームランプの点滅 |
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| 保護等級: | IP22相当(※レザーケース装着の場合) |
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| 外形寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm): | 38×130×32(突起物を除く) |
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| ガス採気方式: | 自動吸引式 |
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| 応答時間(秒): | 10以内(探知可能濃度の3倍の濃度のガスに対して、感度設定[4]) |
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| 検知原理: | 熱線型半導体式 |
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| 電池使用時間(時間): | 約12(単3形アルカリ乾電池)[常温・常湿において] |
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| 漏洩量: | 検知可能/アルシン:2.53×10-7Pa・m3/s、ホスフィン:1.52×10-7Pa・m3/s、ジボラン:1.01×10-7Pa・m3/s、シラン:2.53×10-7Pa・m3/s、水素:5.07×10-7Pa・m3/s |
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