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| https://www.monotaro.com/p/1117/0035/ | 2026/05/24 13:15:51 |
※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください)
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CKD
ファインレベルスイッチ KML502シリーズ(マニホールド) |
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| 特長： |
設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。 供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。 ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。 純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。 薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。 接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。 蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。 コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。 常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。 ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。 |
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| 用途： |
薬液槽の液面検出に 半導体製造、化学プロセスに最適 |
| 付属品： | ハウジング、端子 |
| 注意： |
※感知区分(スイッチング水位)・応差・繰り返し精度は、使用圧力20kPa(周囲温度24±2℃)における測定対象物水の時の値です。 ※供給ガスは、ろ過精度0.3μm以下のフィルター処理を行ったものをご使用ください。 |
| 使用温度(℃)： | 【供給ガス】5〜60 |
| 繰返し精度(mm)： | ±1 |
| 使用流体： | 【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス |
| チューブ内径(Φmm)： | 【検出チューブ】4 |
| 材質(ボディ)： | PPS |
| 耐圧力(kPa)： | (P.Sポート)100(P.Iポート)6(検出流体水の場合600mm) |
| 周囲温度(℃)： | 5〜60 |
| チューブ長さ(m)： | 5以内 |
| 感知距離(mm)： | (スイッチング水位)1〜3mm |
| 流量(cm3/分)： | (消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時) |
| 接点容量： | 3A 125/250V AC 抵抗負荷(マイクロスイッチ) |
| 材質(ダイアフラム)： | FKM，FFKM |
| 使用圧力(kPa)： | 【供給ガス】10〜35 |
| スイッチ種類： | マイクロスイッチ(C接点) |
| マニホールド連数： | 3連 |
| 応差(mm)： | 2 |
| 応答時間(ms)： | 200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時) |
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