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| https://www.monotaro.com/p/1999/9894/ | 2026/05/26 09:27:39 |
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アズワン
マスフローコントローラー |
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| ガスの種類： | Ar |
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| アズワン品番： | 3-5067-03 |
| フルスケール流量： | 100SCCM |
| 特長： | 熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。 |
| 仕様： | ●外部リークレート：1×10-7Pa・m3/sec(He)以下 |
| 材質： | (接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム |
| 寸法(mm)： | 127×25.5×100 |
| バルブ形式： | N/Oノーマルオープン |
| 電源： | +15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA |
| 再現性： | ±0.2%FS |
| 再現性(%)： | ±0.2FS |
| 耐圧(MPa)： | 1(G) |
| 接続： | 1/4in.SWL相当 |
| 通信方式： | アナログ0〜5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) |
| サイズ(mm)： | 127×25.5×100 |
| 入出力： | アナログ信号(0〜5VDC) |
| 流量精度： | ±2%FS(精度保証範囲15〜35℃) |
| 使用圧力範囲(kPa)： | 50〜300 |
| 応答性： | 6sec |
| 流量制御範囲： | 5〜100%FS |
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