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| https://www.monotaro.com/p/1999/9919/ | 2026/05/26 13:29:24 |
 | アズワン マスフローコントローラー |
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| 特長: | 熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。 |
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| ガスの種類: | H2 |
| アズワン品番: | 3-5067-05 |
| フルスケール流量: | 100SCCM |
| 仕様: | ●外部リークレート：1×10-7Pa・m3/sec(He)以下 |
| 材質: | (接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム |
| 寸法(mm): | 127×25.5×100 |
| バルブ形式: | N/Oノーマルオープン |
| 電源: | +15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA |
| 再現性: | ±0.2%FS |
| 再現性(%): | ±0.2FS |
| 耐圧(MPa): | 1(G) |
| 接続: | 1/4in.SWL相当 |
| 通信方式: | アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) |
| サイズ(mm): | 127×25.5×100 |
| 入出力: | アナログ信号(0～5VDC) |
| 流量精度: | ±2%FS(精度保証範囲15～35℃) |
| 使用圧力範囲(kPa): | 50～300 |
| 応答性: | 6sec |
| 流量制御範囲: | 5～100%FS |
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