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| https://www.monotaro.com/p/2074/1289/ | 2026/05/26 23:22:47 |
 ※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください) | SMC アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-63 |
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| 特長: | 電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能 |
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| フランジサイズ: | 63 |
| 材質(シール): | シール材質:FKM；配合NO.:1349-80 |
| 仕様: | シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下 |
| フランジタイプ: | KF(NW) |
| オートスイッチ個数: | 数量:2ケ付；検出位置:弁開閉 |
| オートスイッチ種類: | 無接点オートスイッチ，グロメット，ランプ付，3線式(NPN)，横取出，リード線0.5m，適用電圧：DC5V，12V，24V(DC4.5～28V) |
| 表面処理(ボディ): | 外部:硬質アルマイト、内部:素地 |
| インジケータおよび操作ポート方向: | インジケータなし、フランジ側 |
| 温度仕様/ヒータの有無: | 5～60℃、ヒータなし |
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