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| https://www.monotaro.com/p/2076/7828/ | 2026/05/15 18:42:03 |
 ※サンプル画像です(右側が本製品に近い外観です) | SMC アルミ製 高真空L型バルブ XLHシリーズ |
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| 特長: | フッ素に強い アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない |
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| フランジサイズ: | 25 |
| 材質(シール): | ULTIC ARMOR；配合NO.：UA4640 |
| 仕様: | シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)；リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下 |
| ヒーター: | 120℃用ヒータ付 |
| 表面処理(ボディ): | 外部：硬質アルマイト、内部：素地 |
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