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| https://www.monotaro.com/p/2077/0025/ | 2026/09/09 14:52:24 |
 ※サンプル画像 (左側が本製品に近い外観です) | SMC アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御・単動 XLDシリーズ XLD-63L |
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| 特長: | フッ素に強い アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない |
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| フランジサイズ: | 63 |
| 材質(シール): | シール材質:VMQ；配合NO.:1232-70 |
| オートスイッチ個数: | 数量:オートスイッチなし；検出位置:- |
| オートスイッチ種類: | オートスイッチなし(内蔵磁石付) |
| 仕様: | シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)、SバルブシールAssy(保守部品)(材質:SUS304+シール材)、固定用Oリング；リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下 |
| フランジタイプ: | KF(NW) |
| 操作ポート方向: | フランジ面裏 |
| 表面処理(ボディ): | 外部:硬質アルマイト、内部:素地 |
| オーダーメイド仕様: | 標準 |
| 温度仕様/ヒータの有無: | 5～60℃、ヒータなし |
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