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| https://www.monotaro.com/p/2087/6374/ | 2026/05/11 07:00:10 |
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ULVAC(アルバック)
電離真空計 |
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| 特長： |
異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。 コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能 ラインアップの充実：アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定 世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中)：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現 フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能 広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域(1×10+5〜1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時) 正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時) |
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| 仕様： | ●適応マルチイオンゲージセンサ：SWT-16(NW16)●エミッション電流：2mA(1×10-2Pa以下)、10μA(1×10-2Pa以上)●DEGAS：エレクトロンボンバード方式、エミッション電流2mA、グリッド電圧約330V |
| オプション： |
マルチイオンゲージセンサ：SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)、材質：フィラメント：Ir/Y2O2コート、その他：PtC-Mo、 SUS304、 W、 Kovar glass、 Kovar/Niメッキ ピラニゲージ：SWU10-R(従来品SPUも対応) ピラニゲージセンサ：SWP-16(NW16)、 SWP-25(NW25)、 SWP-R1/8(R1/8)、 SWP-P18(Φ18 pipe end)、 SWP-P15(Φ15 pipe end)、 SWP-CF16(ICF034)、材質：フィラメント-Pt、 その他-BS/Ni、 メッキ、 Ni、 半田 大気圧センサ：SAU(NW16) 材質：SUS316L ユニットケーブル：GUC-200P(SWU用)：0.5m、 1m、 2m、GUC-200A(SAU用)：0.5m、 1m、 2m ディスプレイユニット：1CH：ISG1 (DC24V電源使用) ディスプレイユニットケーブル：SH200〜ディスプレイユニット間ケーブル2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m コネクタ：入出力コネクタ(D-sub15-soket(M2.6mmネジ)) |
| 測定範囲： | (Pa)1.0×10^-5〜1.0×10^1 |
| 質量(g)： | 約280(コントローラ)、80(測定子) |
| 使用温度範囲(℃)： | 10〜50 |
| 外形寸法(mm)： | ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、コントローラ部/69×63×90(W×D×H) |
| 出力： | 測定値出力電圧 DC 0〜10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} |
| 使用温度範囲： | ST200-A(10〜50℃) |
| 適合規格： | CE |
| 電源電圧： | DC20〜28V(リップル、ノイズ1%以下)8W以下 |
| 精度： | (測定)1.0×10^-4〜3.0×10+0Pa：±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4〜1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10^4〜1.0×10^5Pa：±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4〜1.0×10^4Pa：±10% 1.0×10^4〜3.0×10^5Pa：±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード) |
| 端末仕様： |
対応：パソコン：Windows10 64bit 以降 スマートフォン：Android 6以上、USB TypeC |
| 電源電圧(V)： | DC20〜28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下 |
| 保護等級： | IP30 |
| 入力信号： | 制御：FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理 |
| 測定範囲(Pa)： | 1×10-5〜1×101 |
| 表示器： | SWU10-R |
| 測定精度(%)： | 1.0×10-4〜3.0×10+0Pa：±10 |
| 表示LED： | POWER/ERROR： パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化) |
| 測定子： | 電離真空計測：ISG1 |
| ケーブル： | (ディスプレイ)5m(表示器・本体間ケーブル) |
| 外寸法(mm)： | ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5 |
| 出力信号： |
制御：センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視 定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V |
| コネクタ： | 入出力：D-sub15ピン(M2.6ネジ) |
| モード： | ST200-A単体モード |
| 内容積(cm3)： | 17(センサ) |
| 保管温度範囲(℃)： | -20〜65(非通電時、結露なきこと) |
| アズワン品番： | 3-6054-23 |
| 表示更新時間： | 60msec |
| 繰返し精度(%)： | (N2)ST200単体モード：±2 |
| 接続センサー： | 接続可能センサ：マルチイオンゲージセンサ：1本 |
| 耐圧(Pa)： | センサ：2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要 |
| 湿度範囲(%)： | 15〜80(ただし、結露なきこと) |
| サンプリング周期(ms)： | 60(5回の移動平均処理) |
| 地域 | 単位 | 配送費 |
|---|---|---|
| 離島 | 数量1以上のご注文(同一注文コードにつき) | ¥20,000 / 税込 ¥22,000 |
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