| 特長: | 複合真空計タフゲージは、BA電離真空計とピラニ真空計を組み合わせた複合型の真空計です。
これ1本で大気から超高真空までの広範囲を自動的に切り替えながら計測します。
ピラニ真空計は温度計を内蔵して温度補正を行い、温度変化による誤差を低減します。
またピラニ真空計には耐腐食性の材料を使用、高真空ではBA電離真空計がグリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも感度低下が起きにくく、長期間、精度よく測定することができます。 |
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| 用途: | 真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製 |
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| 注意: | ※本機には電源は付属しません。別途TG200CBL(電源通信ケーブル)をご使用ください。 |
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| フランジ: | NW25 |
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| 材質: | ピラニ：Ni、ピラニ温度計：Pt100、BA フィラメント：Y-lr、グリッド：Pt-Mo、コレクタ：Pt-Mo |
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| インターフェース: | RS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可 |
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| 入力信号: | 測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF |
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| 出力信号: | セットポイント接点×2ch、アラーム接点 |
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| 入力電源(V): | DC24、0.8A |
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| 測定範囲: | 1×10-8Pa～1.2×105Pa |
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| RoHS指令(10物質対応): | 対応 |
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| 仕様: | ●タフモード：測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱・OFF/約300℃/約500℃/約700℃に設定可●デガス：グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱 |
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| セット内容: | フランジ、校正証明書付 |
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| タイプ: | トランスミッタタイプ(LED 表示付) |
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| 出力: | 圧力信号：0～10V×1ch |
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| 関連資料: |  (0.79MB) |
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| 圧力単位: | Pa/Torr/mbar |
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(0.79MB)