|
フランジ：
|
CF70
|
|
インターフェース：
|
RS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
|
|
入力信号：
|
測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
|
|
出力信号：
|
セットポイント接点×2ch、アラーム接点
|
|
入力電源(V)：
|
DC24、1A
|
|
測定範囲：
|
1×10-8Pa 〜 0.1Pa
|
|
電圧(V)：
|
3k〜500(バイアス/最適制御)
|
|
材質(シール)：
|
メタルOリングシール
|
|
RoHS指令(10物質対応)：
|
対応
|
|
特長：
|
コールドカソードタフゲージCCTG(Cold Cathode Tough Gauge)はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。
また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。
今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。
|
|
用途：
|
真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
|
|
仕様：
|
【圧力単位】Pa/Torr/mbar、【タフモード】測定時カソード電極を通電加熱(温度を3 段階に設定可)、【デガス】カソードを約700℃にフラッシュ加熱、【圧力信号出力】0〜10V × 2ch
|
|
注意：
|
※本機には電源は付属しません。別途CCTG200CBL(電源通信ケーブル)をご使用ください。
|
|
セット内容：
|
フランジ、校正証明書付
|
|
タイプ：
|
トランスミッタタイプ(LED 表示付)
|
|
関連資料：
|
 (0.74MB)
|
(0.74MB)