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特長：
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小型で軽量、単電源DC24V駆動のマスフローメータです。
表示器一体型で、瞬時・積算流量表示や、上下アラーム設定等が簡単操作で行えます。
RS485通信機能を標準搭載しています。
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仕様：
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【デジタル通信】RS485(MODBUSプロトコル、RTUモード) ID：1〜247
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注意：
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※価格は標準製作品についてのものであり、細部仕様により価格が変わることがあります。
※本製品は受注生産品につき、ご注文後のキャンセルや返品はお受けできませんのでご注意下さい。
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材質：
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【接ガス部】SUS316、SUS316L、PTFE、PCTFE、FKM
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電源(V)：
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DC24±10%/100mA以下
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最大流量：
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500SCCM
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精度：
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±1%FS
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耐圧(MPa)：
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1(G)
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表示範囲：
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ゼロカット機能不使用時 約-10〜125%FS(表示リミッター点滅)
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対象ガス：
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N2(Air，H2，He，Ar，O2，CO2，CH4/CF切替)
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入出力：
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【ニードルバルブ】一次側圧力：0.1MPa/二次側圧力：0MPa(標準)
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バルブ：
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無し
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継手：
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1/4SWL
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更新周期(ms)：
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25/50/100/200/500/1000(瞬時流量)
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