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特長：
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定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
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仕様：
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●流量設定信号：0〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0〜5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
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注意：
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※コード番号をご指定の後、流量を併せてご連絡下さい。
※価格は標準製作品についてのものであり、細部仕様により価格が変わることがあります
※本製品は受注生産品につき、ご注文後のキャンセルや返品はお受けできませんのでご注意下さい。
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材質：
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接ガス部材質：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプション NBR or CR)
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質量(g)：
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約1500
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寸法L(mm)：
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162.4
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バルブ形式：
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比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
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最大流量：
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30SLM
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精度：
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±1.5%FS(25℃)
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センサータイプ：
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熱式巻線センサ
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再現性：
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±0.5%FS
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再現性(%)：
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±0.5F.S
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耐圧(MPa)：
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1(G)
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接続：
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電気：D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
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精度(%)：
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±1.5F.S.(25℃)
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使用電源：
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+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
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周囲湿度(%RH)：
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許容：10〜90(結露なきこと)
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温度係数：
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±0.2%F.S./℃(15〜35℃)
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許容周囲温度(℃)：
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5〜45
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入圧(kPa)：
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最大500(G)
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保存温度範囲(℃)：
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許容：-10〜60
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適合流体：
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Air
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耐圧(kPa)：
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980(G)
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動作差圧(kPa)：
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150〜300
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応答性：
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3sec以内(within±2%F.S.)
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継手：
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3/8SWL
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フルスケール流量：
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30SLM
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測定制御範囲：
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5〜100%(F.S.)
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リークレート(Pa・m3/sec)：
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1×10-8以下(He 透過含まず)
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校正温度(℃)：
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20
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