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| https://www.monotaro.com/p/2121/0455/ | 2026/05/27 11:58:16 |
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コフロック
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル |
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| 適合流体： | アルゴンガス(AR) |
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| 特長： | アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。 |
| 用途： | 大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。 |
| 注意： |
※流体・流量等の諸条件により、仕様に多数のバリエーションがございます。かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。 【型式説明】 3660 or 3665-(接続)-(流体)-(最大流量)-(校正温度) *接続：RC1/4(1/4管用テーパめねじ) or 1/4SW(1/4スウェジロック食込継手)等 *最大流量：SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute) or SLM(Standard Liter per Minute) *校正温度：20℃ or 0℃ CP-STD1-(ケーブル長) 【MODEL 3660 SERIES 標準仕様】 センサ方式：熱式センサー 最大流量レンジ(N2 換算)：10SCCM〜100SLM バルブ方式：比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉) 制御範囲：FS2〜100%(※FS5〜100%) 応答性：2sec以内(withinFS±2%)(※3sec以内(withinFS±2%)) 精度：FS±1%(25℃)(※FS±1.5%(25℃)) 温度係数：FS±0.1/℃(15〜35℃)(※FS±0.2/℃(15〜35℃)) 再現性：FS±0.5% 動作差圧：FS≦5SLM 50〜300KPA(G)、FS＞5SLM 100〜300KPA(G)(※FS≦50SLM 150〜300KPA(G)、FS＞50SLM 200〜300KPA(G)) 動作可能圧力：500KPA(G)以下 耐圧：980KPA(G) リークレート：1×10-8Pa・m2/s以下(He透過含まず) 許容周囲温度：5〜45℃ 許容周囲湿度：10〜90%(結露なきこと) 接ガス部材質：ボディ SUS316、バルブシート・シール材 FKM 電気接続：Dsub9ピンKFC Standard(SEMI Standard準拠) アナログ入力：0〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) アナログ出力：0〜5VDC(外部負荷抵抗250KΩ以上) 所要電源：+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA 重量：約1000g(※約1500g) ※…モデル3665(30SLM〜)の場合 【CR-400B 標準仕様】 マスフロー制御機能：流量設定、バルブ強制開閉、ゼロカット マスフロー入出力：0〜5VDC マスフロー供給電源：±15VDC(300mA) 表示桁：瞬時流量4桁 表示性能：瞬時流量FS±0.1% ±1digit以内 外部制御機能：背面入力端子 アナログ信号、RS-485通信(半二重) イベント出力：2段(瞬時上限/瞬時下限/瞬時上下限から選択)、オープンコレクタ出力(最大定格50V・50mA) 消費電力：約25W AC電源：85〜264VAC 48〜440Hz 重量：約400g |
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