|
|
|
| https://www.monotaro.com/p/2121/2327/ | 2026/05/18 06:00:24 |
|
コフロック
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル  |
|
大変申し訳ございませんが、只今品切れしております。
入荷は未定です。 |
|
|
| 適合流体： | 窒素ガス(N2) |
|---|---|
| 特長： | 窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。 |
| 用途： | 大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。 |
| 仕様： | ●流量設定信号：0〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0〜5VDC(負荷抵抗250kΩ以上) |
| 注意： |
※流体・流量等の諸条件により、仕様に多数のバリエーションがございます。かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。 【型式説明】 3660 or 3665-(接続)-(流体)-(最大流量)-(校正温度) *接続：RC1/4(1/4管用テーパめねじ) or 1/4SW(1/4スウェジロック食込継手)等 *最大流量：SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute) or SLM(Standard Liter per Minute) *校正温度：20℃ or 0℃ CP-STD1-(ケーブル長) 【MODEL 3660 SERIES 標準仕様】 センサ方式：熱式センサー 最大流量レンジ(N2 換算)：10SCCM〜100SLM バルブ方式：比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉) 制御範囲：FS2〜100%(※FS5〜100%) 応答性：2sec以内(withinFS±2%)(※3sec以内(withinFS±2%)) 精度：FS±1%(25℃)(※FS±1.5%(25℃)) 温度係数：FS±0.1/℃(15〜35℃)(※FS±0.2/℃(15〜35℃)) 再現性：FS±0.5% 動作差圧：FS≦5SLM 50〜300KPA(G)、FS＞5SLM 100〜300KPA(G)(※FS≦50SLM 150〜300KPA(G)、FS＞50SLM 200〜300KPA(G)) 動作可能圧力：500KPA(G)以下 耐圧：980KPA(G) リークレート：1×10-8Pa・m2/s以下(He透過含まず) 許容周囲温度：5〜45℃ 許容周囲湿度：10〜90%(結露なきこと) 接ガス部材質：ボディ SUS316、バルブシート・シール材 FKM 電気接続：Dsub9ピンKFC Standard(SEMI Standard準拠) アナログ入力：0〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) アナログ出力：0〜5VDC(外部負荷抵抗250KΩ以上) 所要電源：+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA 重量：約1000g(※約1500g) ※…モデル3665(30SLM〜)の場合 【CR-400B 標準仕様】 マスフロー制御機能：流量設定、バルブ強制開閉、ゼロカット マスフロー入出力：0〜5VDC マスフロー供給電源：±15VDC(300mA) 表示桁：瞬時流量4桁 表示性能：瞬時流量FS±0.1% ±1digit以内 外部制御機能：背面入力端子 アナログ信号、RS-485通信(半二重) イベント出力：2段(瞬時上限/瞬時下限/瞬時上下限から選択)、オープンコレクタ出力(最大定格50V・50mA) 消費電力：約25W AC電源：85〜264VAC 48〜440Hz 重量：約400g |
| セット内容： | スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m |
| 材質： | 接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM |
| 質量(g)： | 約1000 |
| 電源： | 15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA |
| 精度： | ±1%F.S.(25℃) |
| センサータイプ： | 熱式巻線センサ |
| 再現性： | ±0.5%F.S. |
| 測定方法： | 熱式 |
| 耐圧(MPa)： | 1 |
| 接続： | RC1/4 |
| 保存温度(℃)： | -10〜60 |
| 測定対象： | 気体 |
| 周囲湿度(%RH)： | 10〜90(結露なきこと) |
| 温度係数： | ±0.1%F.S./℃(15〜35℃) |
| 許容周囲温度(℃)： | 5〜45 |
| 動作差圧(kPa)： | 50〜300 |
| 応答性： | 2sec以内(within±2%F.S.) |
| 最大圧力(kPa)： | 入口：500 |
| 継手： | RC1/4 |
| バルブ種類： | 比例ソレノイドバルブ(非通電時閉) |
| フルスケール流量： | 50SCCM |
| 流量制御範囲： | 2〜100%F.S. |
| 電気的接続： | D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠) |
| リークレート(Pa・m3/sec)： | 1×10-8以下 |
| 校正温度(℃)： | 20 |
| Copyright 2000-2026 MonotaRO Co.,Ltd. All Rights Reserved. 株式会社MonotaRO（ものたろう） |