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| https://www.monotaro.com/p/2174/3093/ | 2026/06/08 06:55:13 |
 | SMC 水冷却式サーモチラー/高機能インバータタイプ (HRW-～) |
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| 特長: | ・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。 |
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