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SH200A-ISG1-NW25-SET 電離真空計(マルチイオンゲージ) ULVAC(アルバック) 25943114
ULVAC(アルバック)
電離真空計(マルチイオンゲージ)
注文コード25943114
品番SH200A-ISG1-NW25-SET
内容量1セット
参考基準価格(税別)¥355,200
単価(税別)
¥349,800
特長:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。
従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。
PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。
真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。
フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
注意:※本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。
仕様:●標準仕様●適応マルチイオンゲージセンサ:M-45(NW25)●エミッション電流:1mA(1×10-3Pa以下)、10μA(1×10-3Pa以上)●DEGAS:電子衝撃脱離方式(エレクトロンボンバード)1mA、330V
オプション:マルチイオンゲージセンサ:M-44(NW16)、 M-45(NW25)、 M-46(ICF070)、材質:フィラメント1、2-Ir/Y2O3コート、その他:PtC-Mo、SUS304、 W、 Kovar glass、 Kovar/Niメッキ
ピラニゲージ:SWU10-R ※従来品SPUも対応
ピラニゲージセンサ:SWP-16(NW16)、 SWP-25(NW25)、 SWP-R1/8(R1/8)、 SWP-P18(Φ18 pipe end)、 SWP-P15(Φ15 pipe end)、材質:フィラメント-Pt、その他-BS/Ni、 メッキ、 Ni、 半田
大気圧センサ:SAU(NW16) 材質:SUS316L
ユニットケーブル:GUC-200P(SWU用):0.5m、 1m、 2m、GUC-200A(SAU用):0.5m、 1m、 2m
ディスプレイユニット:1CH:ISG1 (DC24V電源使用)
ディスプレイユニットケーブル:SH200~ディスプレイユニット間ケーブル2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
コネクタ:入出力コネクタ(D-sub15-soket(M2.6mmネジ))
トラスコ品番:353-7436
セット内容:SH200-A、SWU10-R、SH200用測定子M-45
材質:測定子フィラメント・白金(Pt)
質量(g):約280(コントローラ)、80(測定子)
種類:真空計
使用温度範囲(℃):10~50
外形寸法(mm):コントローラ部/69×63×90(W×D×H)
電圧(V):DC20~28
出力:測定値出力電圧 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
適合規格:CE
表示:デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)
端末仕様:対応:パソコン:Windows10 64bit 以降
スマートフォン:Android 6以上、USB TypeC
電源電圧(V):DC20~28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下
保護等級:IP30
入力信号:制御:FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
オープンコレクタ入力で動作、負論理(FIL ON/OFF信号はモードにより使用方法が異なる)
測定範囲(Pa):5×10-8~1×101
測定精度(%):±15
表示LED:POWER/ERROR: パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)
SET1:セットポイント1LED
SET2:セットポイント2LED
SET3:セットポイント3LED
出力信号:制御:センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
コネクタ:入出力:D-sub15ピン(M2.6ネジ)
内容積(cm<sup>3</sup>):19(センサ)
保管温度範囲(℃):-20~65(非通電時、結露なきこと)
表示更新時間:60msec
繰返し精度(%):(N2)SH200単体モード:±2
接続センサー:接続可能センサ:マルチイオンゲージセンサ:1本
耐圧(Pa):センサ:2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
取合フランジ:NW25
圧力測定範囲(Pa):5×10-8~1×10+1
湿度範囲(%):15~80(ただし、結露なきこと)
サンプリング周期(ms):60(5回の移動平均処理)
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