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通信方式：
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(VDC)アナログ:0〜5
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作動圧力(kpa)：
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(最大)400
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電源電圧：
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±15
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使用温度範囲(℃)：
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5〜50
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応答時間(秒)：
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≦1
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流量精度：
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±1(%・F．S)
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材質：
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Oリング：FKM
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差圧(kPa[psi])：
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100〜300
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バルブ種類：
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NC
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継手：
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接続：1/4F900
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特長：
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1sec以下の高速応答
流量制御・モニタリングソフト
多種通信ほ方法に対応
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用途：
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マスフローコントローラは質量流量(Mass Flow)制御機器です。従来より、流体の流量計測・制御では「体積流量計」が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計(Mass Flow)」が用いられています。
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仕様：
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流量(SLM)窒素：20
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注意：
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一般的なマスフロー製品の流量精度は±1% F.S. (最大流量に対して±1%以内)となっております。
高精度化のご要求に対して、±1% S.P. (設定値に対して±1%以内)を保証する高精度製品もラインアップしております。
※個人宅(戸建住宅・集合住宅)様への配送は行っておりません。
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RoHS指令(10物質対応)：
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対応
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