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| https://www.monotaro.com/p/3743/7635/ | 2026/06/03 22:46:20 |
 | フロロメカニック 小型ダイヤフラム真空ポンプ |
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| 特長: | 特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。 クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。 |
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| 用途: | フロロメカニック社製ウエハー搬送用ピンセット専用の真空ポンプ。 |
| 消費電力(W): | 5 |
| 吸引圧(kPa): | -54(400mmHg)以下 |
| 流量(L/min): | 2.5 |
| タイプ: | 汎用型 |
| 質量(kg): | 0.8 |
| 幅(mm): | 137 |
| 高さ(mm): | 85 |
| 奥行(mm): | 88 |
| 定格電圧(V): | AC100 |
| 使用限界温度(℃): | 40 |
| 騒音値(dB(A))(50/60Hz): | 0 |
| 耐久性: | 耐久時間/9000時間以上 |
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