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| https://www.monotaro.com/p/3743/7635/ | 2026/04/16 05:12:29 |
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フロロメカニック
小型ダイヤフラム真空ポンプ |
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| 消費電力(W)： | 5 |
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| 吸引圧(kPa)： | -54(400mmHg)以下 |
| 流量(L/min)： | 2.5 |
| タイプ： | 汎用型 |
| 質量(kg)： | 0.8 |
| 特長： |
特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。 クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。 |
| 用途： | フロロメカニック社製ウエハー搬送用ピンセット専用の真空ポンプ。 |
| 幅(mm)： | 137 |
| 高さ(mm)： | 85 |
| 奥行(mm)： | 88 |
| 定格電圧(V)： | AC100 |
| 使用限界温度(℃)： | 40 |
| 騒音値(dB(A))(50/60Hz)： | 0 |
| 耐久性： | 耐久時間/9000時間以上 |
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