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XY直交度(mm):
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0.01
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ストローク(X距離)(mm):
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±6.5
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ストローク(Y距離)(mm):
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±6.5
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種類:
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xyステージ
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テーブル長さ(mm):
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70
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テーブル幅(mm):
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70
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耐荷重(N):
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239.1
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送り方式:
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CMH-13RM(標準マイクロメータ)
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移動ガイド:
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HG-VCR(V溝とクロスローラ)
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質量(kg):
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1.2
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特長:
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HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
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感度:
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0.003mm
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クランプ:
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板クランプ
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平行度(mm):
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0.030、運動の平行度:0.014
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目量:
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マイクロメータ式0.01mm
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材質/処理:
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(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
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RoHS指令(10物質対応):
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対応
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操作位置:
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サイド
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移動方向:
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XY軸2方向
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移動精度(mm):
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真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
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モーメント剛性(sec/N・cm):
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ヨー剛性:0.08、ピッチ剛性:0.06、ロール剛性:0.06
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許容モーメント荷重(N・cm):
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ヨー:1500、ピッチ:1500、ロール:1500
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移動量:
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(ツマミ1回転)0.5mm
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