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種類：
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漏液センサ
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検出方式：
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反射形
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保護構造：
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IP67(IEC規格)
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電源電圧(V)：
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DC 10.8〜26.4(リップル10%以下)
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仕様：
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本体
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特長：
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主に半導体製造装置 や液晶製造装置(前工程)において 酸、アルカリ系や有機溶剤系の薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うスイッチです。
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材質：
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-
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材質(本体)：
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PFA
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質量(g)：
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約55
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使用温度範囲(℃)：
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-25〜50(水結しないこと)
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耐電圧：
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AC1000V 50/60Hz 1分間：充電部一括とケース間
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コード長さ(m)：
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5(PFA气管部2 )
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接続方式：
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プリワイヤ
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出力形態：
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PNPオープンコレクタ
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光源：
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赤外LED(ピーク発光波長940nm)
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制御出力：
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開閉電流：50mA以下(抵抗負荷)、出力耐電圧：DC30V、残留電圧：1V以下(開閉電流50mA時)
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消費電流(mA)：
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30以下
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絶縁抵抗(MΩ)：
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20以上(DC500V)
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保護回路：
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電源逆接続保護回路付き、電源投入時誤動作防止回路付き(約20ms)、出力短絡保護回路
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保存温度範囲(℃)：
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-40〜70(水結しないこと)
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材質(検出面)：
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塩ビ板、ステンレス鋼板
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耐衝撃(m/s2)：
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500 X、Y、Z各方向 3回
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表示灯：
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正常時：緑色点灯、漏液検出時：オレンジ点灯
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耐振動：
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複振幅1.5mm、周波数10〜55Hz、X・Y・Z各方向2時間(NECA C 4508)
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材質(ブラケット)：
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PFA
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標準検出物体：
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水
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関連資料：
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 (7.24MB)
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動作形態：
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正常時オン、漏液検出時オフ
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使用湿度範囲(%RH)：
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30〜85(結露しないこと)
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(7.24MB)
