| 特長: | 主に半導体製造装置 や液晶製造装置(前工程)において 酸、アルカリ系や有機溶剤系の薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うスイッチです。 |
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| 種類: | 漏液センサ |
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| 検出方式: | 反射形 |
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| 保護構造: | IP67(IEC規格) |
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| 電源電圧(V): | DC 10.8~26.4(リップル10%以下) |
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| 仕様: | 本体 |
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| 材質: | コード:PFA被覆 |
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| 材質(本体): | PFA |
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| 質量(g): | 約55 |
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| 使用温度範囲(℃): | -25~50(水結しないこと) |
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| 耐電圧: | AC1000V 50/60Hz 1分間:充電部一括とケース間 |
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| コード長さ(m): | 5(PFA气管部2 ) |
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| 接続方式: | プリワイヤ |
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| 出力形態: | NPNオープンコレクタ |
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| 光源: | 赤外LED(ピーク発光波長940nm) |
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| 制御出力: | 開閉電流:50mA以下(抵抗負荷)、出力耐電圧:DC30V、残留電圧:1V以下(開閉電流50mA時) |
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| 消費電流(mA): | 30以下 |
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| 絶縁抵抗(MΩ): | 20以上(DC500V) |
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| 保護回路: | 電源逆接続保護回路付き、電源投入時誤動作防止回路付き(約20ms)、出力短絡保護回路 |
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| 保存温度範囲(℃): | -40~70(水結しないこと) |
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| 材質(検出面): | 塩ビ板、ステンレス鋼板 |
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| 耐衝撃(m/s<sup>2</sup>): | 500 X、Y、Z各方向 3回 |
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| 表示灯: | 正常時:緑色点灯、漏液検出時:オレンジ点灯 |
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| 耐振動: | 複振幅1.5mm、周波数10~55Hz、X・Y・Z各方向2時間(NECA C 4508) |
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| 材質(ブラケット): | PFA |
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| 標準検出物体: | 水 |
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| 関連資料: | (7.24MB) |
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| 動作形態: | 正常時オン、漏液検出時オフ |
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| 使用湿度範囲(%RH): | 30~85(結露しないこと) |
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