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| https://www.monotaro.com/p/4164/5206/ | 2026/05/31 13:14:24 |
![9784339008371 半導体・MEMSのための超臨界流体 コロナ社[事務用品] 41645206](https://jp.images-monotaro.com/Monotaro3/pi/thum/mono41645206-190426-02.jpg) | コロナ社[事務用品] 半導体・MEMSのための超臨界流体 |
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| 特長: | 気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について、特長と、乾燥、薄膜堆積、洗浄など、半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説。超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。 |
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| ジャンル: | 電子 通信 |
| 分類: | 専門 |
| 判型: | A5 |
| ページ数: | 227 |
| 著者名: | 近藤英一 上野和良 内田寛 |
| 初版年月: | 2012/09 |
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