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| https://www.monotaro.com/p/4164/5407/ | 2026/07/02 07:09:59 |
 | 東京電機大学出版局 半導体真空技術 |
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| 特長: | あらゆる産業を支える基礎技術のひとつである真空技術。本書では、半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。できるだけ数式を使わず、理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。 |
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| ジャンル: | 機械 |
| 分類: | 専門 |
| 判型: | A5 |
| ページ数: | 219 |
| 著者名: | 宇津木勝 |
| 初版年月: | 2011/05 |
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