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| https://www.monotaro.com/p/4164/5407/ | 2026/05/17 11:23:21 |
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東京電機大学出版局
半導体真空技術 |
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| ジャンル： | 機械 |
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| 分類： | 専門 |
| 特長： | あらゆる産業を支える基礎技術のひとつである真空技術。本書では、半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。できるだけ数式を使わず、理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。 |
| 判型： | A5 |
| ページ数： | 219 |
| 著者名： | 宇津木勝 |
| 初版年月： | 2011/05 |
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