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特長：
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表示器付ローコストマスフローメータ(ニードルバルブ一体型)です。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。また、ニードルバルブによって流量制御を行うことも可能です。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
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用途：
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大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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注意：
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※流体・流量等の諸条件により、仕様に多数のバリエーションがございます。かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。
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材質：
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接ガス部：SUS303、PTFE、FKM(オプションNBR or CR)
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流体：
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Ar
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材質(シール)：
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FKM
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最大流量：
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100SCCM
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使用圧力(MPa)：
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0.0～0.5(G)
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バルブの有無：
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あり
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精度：
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FS±2%以内@25℃
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測定方法：
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熱式
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耐圧(MPa)：
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1.0(G)
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接続：
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RC1/4
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センサー：
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熱式センサー
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測定対象：
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気体
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所要電力：
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DC24V±5% 100mA
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温度係数：
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FS±0.2%/℃(15～35℃)
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許容周囲温度(℃)：
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0～50
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一次側圧力(MPa)：
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0.1
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材質(ボディ)：
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接ガス部：SUS303、PTFE
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出力信号：
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4-20mA
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二次側圧力(MPa)：
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0
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許容湿度(%)：
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30～80(結露なきこと)
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校正温度(℃)：
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20
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イベント出力：
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NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
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