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| https://www.monotaro.com/p/5739/2661/ | 2026/07/15 07:48:37 |
 | azbil(旧:山武) パネルマウントマスフローコントローラ：MPC |
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| 特長: | ● パネルマウント形マスフローコントローラ：制御盤前面からの操作・設定が可能 ● 質量流量を高精度に制御：ガス流量を設定値に追従させ、安定したプロセスを実現 ● 表示・操作一体型：流量表示、設定、状態確認を本体パネルで完結 ● 装置組込みに最適：半導体・FPD・分析装置などに幅広く採用 |
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| 用途: | ● プロセスガス流量制御：成膜、エッチング、洗浄、雰囲気制御 ● 装置用ガス供給制御：半導体・FPD・研究開発装置 ● 分析・試験用途：分析計、評価装置での精密流量制御 ● ガス消費量の安定化：品質ばらつきの低減・再現性向上 |
| 注意: | ※写真は代表画像です |
| 関連資料: |  (1.65MB) |
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