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| https://www.monotaro.com/p/5745/6546/ | 2026/06/29 16:40:50 |
 | ULVAC(アルバック) 電離真空計(マルチイオンゲージ)SH200-A+ISG1セット(NW16) |
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| 特長: | マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。 従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。 PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。 真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。 フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。 大気圧から高真空領域(1×10^+5～1×10^-8Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。 |
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| 用途: | 半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に。 インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に。 高真空・超高真空装置の圧力測定に。 |
| 注意: | ※本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。 |
| トラスコ品番: | 353-7438 |
| セット内容: | SH200-A、SWU10-R、SH200用測定子M44、SWU10-R専用測定子SWP-16 |
| 材質: | 測定子フィラメント・白金(Pt) |
| 電源電圧(V): | 100～240 |
| 測定子: | M-44(NW-16)/SWP-16 |
| 取合フランジ: | NW16 |
| 圧力測定範囲(Pa): | 1×10[[の5乗]]～1×10[[の-8乗]] |
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