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| https://www.monotaro.com/p/6207/7043/ | 2026/06/01 19:16:17 |
 | MSAファクトリー ウェハホットチャック PH201Sシリーズ |
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| 特長: | ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。 |
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| 仕様: | Φ2～4インチ、温度制御範囲：室温～200℃、温度精度：±1.5%、電気容量：400W、サイズ：140×170×50.5mm、重量：約3kg |
| 表面処理: | 黒アルマイト |
| アズワン品番: | 4-1528-01 |
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