https://www.monotaro.com/p/6274/4895/

2026/06/26 00:44:02

技術評論社 はじめての半導体ドライエッチング技術 改訂版 7日出荷とは

注文コード 62744895 品番 9784297115999 内容量 1冊 参考基準価格(税別) ￥2,480

通常価格(税別) 単価(税別) ￥0 ￥2,480

特長:	1章 半導体集積回路の発展とドライエッチング技術；2章 ドライエッチングのメカニズム；3章 各種材料のエッチング；4章 ドライエッチング装置；5章 ドライエッチングダメージ；6章 新しいエッチング技術；7章 アトミックレイヤーエッチング(ALE)；8章 ドライエッチング技術の今後の課題と展望
分類:	専門
判型:	A5
ページ数:	188
ジャンル:	電子 通信
著者名:	野尻一男
初版年月:	2020/11/01

Copyright 2000-2026MonotaRO Co.,Ltd. All Rights Reserved. 株式会社MonotaRO（ものたろう）