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| https://www.monotaro.com/p/6343/9094/ | 2026/06/02 22:57:01 |
 | エフコン マスフローコントローラー C-4S2-Lシリーズ  |
大変申し訳ございませんが、この商品は取り扱いを終了いたしました。 |
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| 特長: | 熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。 |
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| ガスの種類: | Ar |
| サイズ: | 160×33.6×105mm |
| 継手: | 1/4in.SWL相当 |
| 再現性: | ±0.2%FS |
| 通信方式: | アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) |
| 入出力: | アナログ信号(0～5VDC) |
| 流量制御範囲: | 5～100%FS |
| 流量精度: | ±2%FS(精度保証範囲15～35℃) |
| 表面処理: | 機械加工仕上げ |
| 流体: | 気体 |
| バルブ形式: | N/O ノーマルオープン |
| 応答性: | 6sec |
| 駆動源: | +15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA |
| 使用周囲温度(℃): | 5～50 85%RH以下 |
| 仕様: | ガス：Ar 外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム 耐圧：1MPa(G) 動作圧力範囲：50～300kPa 流量(SLM)：50 |
| アズワン品番: | 3-8035-03 |
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