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| https://www.monotaro.com/p/6343/9103/ | 2026/05/27 00:27:35 |
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エフコン
マスフローコントローラー C-4S2-Lシリーズ |
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| ガスの種類： | He |
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| サイズ： | 160×33.6×105mm |
| 継手： | 1/4in.SWL相当 |
| 再現性： | ±0.2%FS |
| 通信方式： | アナログ0〜5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) |
| 入出力： | アナログ信号(0〜5VDC) |
| 流量制御範囲： | 5〜100%FS |
| 流量精度： | ±2%FS(精度保証範囲15〜35℃) |
| 表面処理： | 機械加工仕上げ |
| 流体： | 気体 |
| バルブ形式： | N/O ノーマルオープン |
| 応答性： | 6sec |
| 駆動源： | +15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA |
| 使用周囲温度(℃)： | 5〜50 85%RH以下 |
| 特長： | 熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。 |
| 仕様： | ガス：He 外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム 耐圧：1MPa(G) 動作圧力範囲：50〜300kPa 流量(SLM)：50 |
| アズワン品番： | 3-8035-04 |
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