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| https://www.monotaro.com/p/6545/2347/ | 2026/10/12 10:02:03 |
 ※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください) | グローバル・トップ・ケミカル 4インチ シリコンウエハー ノンドープ(100) 抵抗値 1000Ω |
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| 特長: | 装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など) |
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| 用途: | 装置テスト用、ダミー(モニター用) |
| 注意: | ※製品の特性上、長期欠品時以外はご注文後のキャンセルはお受けできかねます。在庫がない場合は30日程納期がかかります。予めご了承ください。 |
| 仕様: | パーティクル：0.3μm≦10、導電型：ノンドープ、製造：FZ |
| 材質: | シリコン |
| サイズ: | 4インチ |
| 直径(Φmm): | 100±0.5 |
| 厚さ(μm): | 525±20 |
| 仕上: | 片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ |
| 抵抗値: | ≧1000Ωcm |
| 製造方法: | FZ法 |
| 方位: | 面：100 |
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