![]() | |
| https://www.monotaro.com/p/6927/3235/ | 2026/06/01 06:10:58 |
![]() ※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください) | SMC XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ |
|
|
| 特長: | 長寿命:300万回(常温時) 発塵量:1/5以下に低減(従来品比) メンテナンス性向上 容易なベローズ交換 トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド) 安全対策 メカ式エンドロック機構採用 |
|---|---|
| 材質(シール): | FKM |
| バルブ形式: | (2) カセット式 (標準ボデイ) |
| オートスイッチ種類: | オートスイッチ:D-A93;コネクタ種類:なし;リード線:0.5m;適用温度範囲:20℃~60℃ |
| エンドロック: | (N) なし |
| 仕様: | ゲート部シール材質:(1) FKM、オートスイッチおよびコネクタ:(A) D-A93、コネクタなし、リード線:0.5m、適用温度範囲: 20℃ ~ 60℃ |
| 適合ウェハー寸法(Φmm): | 300mmウエハ対応 |
| 開口窓寸法(mm): | 50X336 |
| 軸数とシール形式: | 1軸ベローズ |
| Copyright 2000-2026 MonotaRO Co.,Ltd. All Rights Reserved. 株式会社MonotaRO(ものたろう) |