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| https://www.monotaro.com/p/6927/3244/ | 2026/06/01 05:44:19 |
 ※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください) | SMC XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ |
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| 特長: | 長寿命：300万回(常温時) 発塵量：1/5以下に低減(従来品比) メンテナンス性向上 容易なベローズ交換 トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド) 安全対策 メカ式エンドロック機構採用 |
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| 材質(シール): | FKM |
| バルブ形式: | (2) カセット式 (標準ボデイ) |
| オートスイッチ種類: | オートスイッチ:D-A93；コネクタ種類:マルチコネクタ(AMP)；適用温度範囲:20℃～60℃ |
| エンドロック: | (-) OPEN/CLOSE エンドロック |
| 仕様: | ゲート部シール材質:(1) FKM、オートスイッチおよびコネクタ:(C) D-A93、マルチコネクタ(AMP)付、適用温度範囲: 20℃ ～ 60℃ |
| 適合ウェハー寸法(Φmm): | 300mmウエハ対応 |
| 開口窓寸法(mm): | 50X336 |
| 軸数とシール形式: | 1軸ベローズ |
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