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| https://www.monotaro.com/p/6927/3296/ | 2026/06/01 05:45:38 |
 ※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください) | SMC XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ |
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| 特長: | 長寿命：300万回(常温時) 発塵量：1/5以下に低減(従来品比) メンテナンス性向上 容易なベローズ交換 トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド) 安全対策 メカ式エンドロック機構採用 |
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| 材質(シール): | Kalrez4079 |
| バルブ形式: | (2) カセット式 (標準ボデイ) |
| オートスイッチ種類: | オートスイッチ:なし；コネクタ種類:なし |
| エンドロック: | (-) OPEN/CLOSE エンドロック |
| 仕様: | ゲート部シール材質:(2) Kalrze 4079、オートスイッチおよびコネクタ:(-) なし |
| 適合ウェハー寸法(Φmm): | 300mmウエハ対応 |
| 開口窓寸法(mm): | 50X336 |
| 軸数とシール形式: | 1軸ベローズ |
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