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| https://www.monotaro.com/p/7123/6123/ | 2026/05/19 03:19:49 |
※寸法図
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安立計器
熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ  |
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大変申し訳ございませんが、この商品は取り扱いを終了いたしました。
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| 特長： | AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です |
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| 用途： | シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等 |
| 仕様： | 検査成績書は標準付属です。 |
| 材質： | (絶縁被覆)石英管 |
| 使用温度範囲(℃)： | 0〜500 |
| コード長さ(m)： | 1 |
| 許容差： | ±5.0℃(100〜200℃における) |
| 熱電対： | Kタイプ |
| 寸法(inch)： | (ウェーハ)5 |
| プラグ形状： | ミニプラグ |
| 点数： | 5(センサー) |
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