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| https://www.monotaro.com/p/7322/9741/ | 2026/06/03 05:02:36 |
 ※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください) | フジキン フジキン 自動ダイヤフラムバルブ |
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| 特長: | NEW MEGA-MINI LA・新タイプ・低圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI LAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI LAの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。 アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・Φ35の小型アクチュエータの採用によりコンパクトです。 優れた耐久性400万回以上 ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようアクチュエータキャップ上部で、簡単に識別できます。 高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム 良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 0.84 cc) シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。 接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。 |
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| 材質: | 【シート】PCTFE(標準)、【ボディ】SUS316L(標準) |
| 寸法L(mm): | 52 |
| 呼び径: | 6.35 |
| 寸法H(mm): | 45.2 |
| 最高使用圧力(MPa): | 1 |
| 寸法A(mm): | 13 |
| 作動方式: | ノーマルクローズ(N.C) |
| 寸法D(mm): | 35 |
| 寸法B(mm): | 13 |
| 寸法C(mm): | 21 |
| 接続: | UJR継手(両端おす) |
| 寸法h(mm): | 12 |
| 作動圧力範囲(MPa): | 0.4～0.6 |
| 配管接続口径: | 1/4OD |
| 接続ポート: | 【操作圧】M5×0.8 |
| 内面処理: | UP処理(フジキン特殊表面処理) |
| 最大Cv値: | 0.1 |
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