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| https://www.monotaro.com/p/7322/9829/ | 2026/06/02 20:32:10 |
 ※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください) | フジキン フジキン 自動ダイヤフラムバルブ |
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| 特長: | NEW MEGA-MINI HA・新タイプ・高圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI HAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI HAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。 アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・特殊構造のアクチュエータにより、高圧タイプのエアオペレーションバルブとして、大変コンパクトです。 優れた耐久性40万回以上 高圧ガス大臣認定品の対応が可能です。 高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム 良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 0.92 cc) シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。 接ガス部はすべて標準でUP処理を行っています。 |
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| 材質: | 【シート】ポリイミド、【ボディ】SUS316L Wメルト |
| 形状: | 二方コーナーバルブ(右流れ) |
| 呼び径: | 6.35 |
| 最高使用圧力(MPa): | 20.5 |
| 作動方式: | ノーマルクローズ(N.C) |
| 接続: | UJR継手(両端めす) |
| 作動圧力範囲(MPa): | 0.4～0.6 |
| 配管接続口径: | 1/4OD |
| 接続ポート: | 【操作圧】M5×0.8 |
| 最大Cv値: | 0.1 |
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