| 特長: | フィルタエレメントに中空糸膜を採用したインライン形クリーンフィルタです。
独自の中空糸膜エレメントを採用し、ろ過精度0.01μm、除去効率99.99%を実現しました。
中空糸膜のため、平膜式と比べ、寿命は約5倍アップと長寿命です。
同一容積の平膜式に比べ、3～10倍のろ過面積があり、大流量で低圧損です。同一流量なら小形・軽量化が可能です。
メンテナンス時期を容易に判断するため、透明ケースを採用し、エレメントの汚れを目視確認できるようにしました。
禁油仕様です。部品はすべて脱脂洗浄を実施し、組立から包装までをクリーンルーム内で一貫生産しています。 |
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| 用途: | クリーンエア供給用フィルタとして。イオナイザーへのクリーンエア供給用に。液晶基板など非接触搬送時のクリーンエア供給用に。吸着搬送、真空破壊時のエアクリーン化。 |
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| 注意: | ※アブソリュートフィルタ(絶対ろ過度)としては使えません。異物を極端に嫌う用途(ウェハーへの直接ブローなど)には使用しないでください。
※一次圧力0.7MPa、圧力降下0.03MPa時の初期流量です。(接続口径により変化します。) |
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| ろ過度(μm): | 0.01(除去効率99.99%) |
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| 管接続口径: | (IN側)Rc3/8 、(OUT側)R3/8 |
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| 使用流体: | 圧縮空気、窒素ガス(N2) |
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| 耐圧力(MPa): | 1.5 |
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| 耐差圧(MPa): | 0.5 |
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| 使用圧力(MPa): | -0.095～0.99 |
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| 周囲温度および使用流体温度(℃): | 5～45 |
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| 処理流量(L/min[ANR]): | 300～400 |
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| 質量(g): | 110 |
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| 材質(ボディ): | ポリアミド |
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| 材質(ケース): | 透明ポリアミド |
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| 材質(エレメント): | ポリプロピレン+ウレタン |
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| 特性: | (組立・検査・包装)クリーンルームにて一貫生産 |
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| 洗浄: | 脱脂洗浄 |
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| 付属品: | 取付ねじ(M3 ×40)、平座金、ばね座金、各2個 |
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| ねじの種類: | R、Rc |
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