サファイア隔膜真空計：SPGシリーズ azbil(旧:山武) - 制御機器/はんだ・静電気対策用品>制御機器>検出・センサ>センサ>圧力・流量センサ>圧力センサ -

2026/09/06 16:34:31

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azbil(旧:山武)
サファイア隔膜真空計：SPGシリーズ

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単価(税別)

￥1,198,000

特長:	・単結晶サファイア隔膜を採用：耐食性・耐熱性に優れ、高温環境(約125～200℃)でも再現性の高い計測が可能。・高精度・高速応答：精度はReading基準で約0.25～0.5%、応答も高速でプロセス変動を追従。・堅牢構造・多彩な形状
用途:	・半導体製造装置の真空圧力計測：CVD、エッチング、スパッタリングなどのプロセスチャンバー圧力監視。

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