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仕様：
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【<対物レンズ用アクチュエータ>共通仕様】モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.35A/相(オリエンタルモータ(株))、モータ品番：PK513PA-C21(□20mm)、モータステップ角度：0.72°、センサ電源電圧：DC+5V〜+24V±10%、センサ消費電力：40mA以下(1センサあたり20mA)、センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 50mA、センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF(非導通)、適応ドライバ：SG-5MA、SG-55MA、SG-514MSC、適応コントローラ：GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、【個別仕様】移動量:3mm、テーブル面サイズ：アダプタ取付、送りネジ：精密研削ネジ径Φ6mm、リード0.5mm、移動ガイド：クロスローラガイド、ステージ上面材質：アルミ、表面処理：白アルマイト、質量：0.4kg、分解能(Full)：1μm/パルス、分解能(Half)：0.5μm/パルス、MAXスピード：1mm/sec、位置決め精度：5μm、繰返し位置決め精度：2μm、耐荷重：4.9N(0.5kgf)、モーメント剛性：-、ロストモーション：2μm、バックラッシ：1μm、平行度：-、走り平行度：2μm、ピッチング：15″、ヨーイング：15″、センサ品番：フォトマイクロセンサ： GP1S092HCPI(シャープ株式会社)、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、原点センサ：無、近接原点センサ：無
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