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| https://www.monotaro.com/p/8395/0818/ | 2026/05/13 09:32:54 |
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シグマ光機
面精度保証ミラー HTFMシリーズ |
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| 特長： |
基板の材質や厚さとコーティングの条件を最適化することで、高面精度のミラーを実現しました。コーティング後の面精度λ/10を保証しています。 従来品の誘多膜平面ミラー(TFM)より、高い面精度(コート後)が得られています。基板に合成石英を用い、基板の厚さを厚くすることで、基板の剛性が高くなっています。紫外レーザやYAGレーザの各波長に対応した高反射率のミラーをラインナップしています。ホルダーにミラーを接着し、面精度を保証したHTFM-MHGも用意しています。※誘電体多層膜は入射ビームの偏光状態により反射率波長特性が変わります。※P偏光はS偏光に比べて反射率が低く、反射帯域も狭くなります。※仕様の反射率は、P偏光とS偏光の反射率の平均値で表しています。※入射角度45°以外で使用した場合、反射率が低くなる可能性があります。※適応波長以外の波長で使用した場合、反射率が低くなる可能性があります。※面精度保証データは製品には添付されません。 |
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| 仕様： | 【<面精度保証ミラー>共通仕様】材質:合成石英、コーティング：誘電体多層膜、入射角度：45°±3°、コート後面精度：λ/10、平行度：<3′、スクラッチ-ディグ：10-5、有効径：外径の80%、裏面：研磨面、【個別仕様】適応波長:248nm、外径 ΦD：Φ25.4mm、厚さ t：8mm、反射率：>99.2%、レーザ耐力※：2J/cm2※レーザパルス幅 10ns、繰り返し周波数 20Hz |
| アズワン品番： | 61-6947-63 |
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