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仕様：
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【<コンパクトスケール内蔵自動ステージ>共通仕様】モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.75A/相(多摩川精機(株))、モータ品番：TS3664N4E10 (□24mm)、モータステップ角度：0.72°、センサ電源電圧：DC5〜24V±10%、センサ消費電力：60mA以下(1センサあたり20mA以下)、センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下、センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF(非導通)、電源電圧/消費電流：DC5V±5% / 50mA、ドライブケーブル：D15D15A-CA、スケールケーブル：GSEF-CA-3、適応ドライバ：-、適応コントローラ：SHOT-302GS/SHOT-304GS/HIT-M・HIT-S、【個別仕様】移動量:35mm、送りネジ：ボールネジ径Φ6mm、リード1mm、ステージ上面材質：アルミ、表面処理：黒アルマイト、質量：1.4kg、分解能(Full)：2μm/パルス、分解能(Half)：1μm/パルス、MAXスピード：25mm/sec、位置決め精度：5μm、繰返し位置決め精度：2μm、モーメント剛性/ピッチング：0.4″/N・cm、モーメント剛性/ヨーイング：0.25″/N・cm、モーメント剛性/ローリング：0.25″/N・cm、ロストモーション：3μm、バックラッシ：3μm、平行度：30μm、走り平行度：10μm、ピッチング：30″、ヨーイング：20″、センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF(シャープ株式会社)、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、原点センサ：有、近接原点センサ：無、スケールヘッド：0.5μm
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