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仕様：
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【<コンパクトスケール内蔵自動ステージ>共通仕様】モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.75A/相(多摩川精機(株))、モータ品番：TS3667N43E967(□42mm)、モータステップ角度：0.72°、センサ電源電圧：DC5〜24V±10%、センサ消費電力：80mA以下(1センサあたり20mA以下)、センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下、センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF(非導通)、電源電圧/消費電流：DC5V±5% / 100mA、ドライブケーブル：D15D15A-CA、スケールケーブル：GSEF-CA-3、適応ドライバ：-、適応コントローラ：SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、【個別仕様】移動量:500mm、テーブル面サイズ：120×120mm、送りネジ：ボールネジ径Φ10mm、リード10mm、移動ガイド：アウターレール構造、ステージ上面材質：アルミ、表面処理：黒アルマイト、質量：9.6kg、分解能(Full)：20μm/パルス、分解能(Half)：10μm/パルス、MAXスピード：100mm/sec、位置決め精度：25μm、繰返し位置決め精度：5μm、耐荷重：196N(20.0kgf)、モーメント剛性/ピッチング：0.12″/N・cm、モーメント剛性/ヨーイング：0.08″/N・cm、モーメント剛性/ローリング：0.1″/N・cm、ロストモーション：5μm、バックラッシ：3μm、平行度：50μm、走り平行度：10μm、ピッチング：30″、ヨーイング：25″、センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF(シャープ株式会社)、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、原点センサ：有、近接原点センサ：有、スケールヘッド：0.5μm
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