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仕様：
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【<高剛性・精密型自動ステージ>共通仕様】モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.75A/相(多摩川精機(株))、モータ品番：TS3664N4E10 (□24mm)、モータステップ角度：0.72°、センサ電源電圧：DC5〜24V±10%、センサ消費電力：60mA以下(1センサあたり20mA以下)、センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下、センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF(非導通)、適応ドライバ：1： SG-5M， SG-5MA、2： SG-55M， SG-55MA， SG-514MSC， SG-5151， KR-525M， MC-7514PCL、適応コントローラ：1： GSC-01， GSC-02、2： SHOT-702， GIP-101， SHOT-302GS， SHOT-304GS， HIT-M・HIT-S， PGC-04、【個別仕様】移動量:35mm、テーブル面サイズ：85×85mm、送りネジ：ボールネジ径Φ6mm、リード1mm、移動ガイド：アウターレール構造、ステージ上面材質：アルミ、表面処理：黒アルマイト、質量：2.3kg、分解能(Full)：2μm/パルス、分解能(Half)：1μm/パルス、MAXスピード：5mm/sec、位置決め精度：10μm、繰返し位置決め精度：3μm、耐荷重：29.4N(3.0kgf) 2のコントローラで使用した場合、モーメント剛性/ピッチング：0.8″/N・cm、モーメント剛性/ヨーイング：0.5″/N・cm、モーメント剛性/ローリング：0.7″/N・cm、ロストモーション：3μm、バックラッシ：3μm、運動の垂直度：25μm、ピッチング：45″、ヨーイング：20″、センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF(シャープ株式会社)、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、原点センサ：有、近接原点センサ：無
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