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仕様：
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【<高剛性・精密型自動ステージ>共通仕様】モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.75A/相(多摩川精機(株))、モータ品番：TS3667N43E967(□42mm)、モータステップ角度：0.72°、センサ電源電圧：DC5〜24V±10%、センサ消費電力：80mA以下(1センサあたり20mA以下)、センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下、センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF(非導通)、適応ドライバ：SG-55M、SG-55MA、SG-514MSC、MC-7514PCL、適応コントローラ：SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04、【個別仕様】移動量:500mm、テーブル面サイズ：120×120mm、送りネジ：ボールネジ径Φ10mm、リード10mm、移動ガイド：アウターレール構造、ステージ上面材質：アルミ、表面処理：黒アルマイト、質量：16.1kg、分解能(Full)：20μm/パルス、分解能(Half)：10m/パルス、MAXスピード：30mm/sec、位置決め精度：50μm、繰返し位置決め精度：6μm、耐荷重：68.6N(7.0kgf)、モーメント剛性/ピッチング：0.2″/N・cm、モーメント剛性/ヨーイング：0.15″/N・cm、モーメント剛性/ローリング：0.15″/N・cm、ロストモーション：5μm、バックラッシ：3μm、運動の垂直度：35μm、ピッチング：50″、ヨーイング：25″、センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF(シャープ株式会社)、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、原点センサ：無、近接原点センサ：無
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