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仕様：
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【<精密小型ZF軸自動ステージ>共通仕様】モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.75A/相(オリエンタルモータ(株))、OSMS40-5ZFは035A/相、モータ品番：OSMS40-5ZF ： PK513PA-C21(□20mm)、OSMS60-5ZF/10ZF ： PK523HPB-C12(□28mm)、OSMS80-20ZF ： A7177-90215KTG(□28mm)、モータステップ角度：0.72(OSMS80-20ZFは、0.036°)、センサ電源電圧：DC5〜24V±10%、センサ消費電力：40mA以下(1センサあたり20mA以下)、センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下、センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF(非導通)、適応ドライバ：OSMS40-5ZF ： SG-5MA、SG-55MA、SG-514MSC、OSMS60-5ZF/10ZF ： SG-5M、SG-5MA、SG-55M、SG-55MA、SG-514MSC、MC-7514PCL、OSMS80-20ZF ： SG-55M、SG-55MA、SG-514MSC、MC-7514PCL、適応コントローラ：GSC-01、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04、【個別仕様】移動量:5mm、テーブル面サイズ：60×60mm、送りネジ：ボールネジ径Φ6mm、リード1mm、移動ガイド：アウターレール構造、ステージ上面材質：アルミ、表面処理：黒アルマイト、質量：0.6kg、分解能(Full)：2μm/パルス、分解能(Half)：1μm/パルス、MAXスピード：4mm/sec、繰返し位置決め精度：10μm、耐荷重：39.2N(4.0kgf)、モーメント剛性/ピッチング：0.4″/N・cm、モーメント剛性/ヨーイング：1″/N・cm、モーメント剛性/ローリング：1″/N・cm、ロストモーション：5μm、平行度：50μm、走り平行度：15μm、ピッチング：20″、センサ品番：マイクロフォトセンサ ： GP1S097HCZ0F(シャープ株式会社) ： リミットセンサ、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、原点センサ：無、近接原点センサ：無
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