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仕様：
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【<真空仕様自動ステージ >共通仕様】モータタイプ:真空仕様5相ステッピングモータ 0.75A/相(オリエンタルモーター(株))、モータ品番：A7298-90215KV(□28mm)、モータステップ角度：0.72°、センサ電源電圧：DC5〜24V±10%、センサ消費電力：10mA(Max 20mA)、センサ制御出力：メカニカル、センサ出力論理：NORMAL CLOSE、適応ドライバ：SG-5M、SG-55M、SG-514MSC、MC-7514PCL、適応コントローラ：GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04、【個別仕様】移動量:200mm、テーブル面サイズ：80×80mm、送りネジ：精密研削ネジΦ8mm、 リード2mm、移動ガイド：アウターレール構造、ステージ材質：アルミ・ステンレス、表面処理：無、質量：2.5kg、分解能/(Full)：4μm/パルス、分解能(Half)：2μm/パルス、MAXスピード：20mm/sec、繰り返し位置決め精度：10μm、耐荷重：58.8N(6.0kgf)、ロストモーション：10μm、センサ品番：GN-PT5M3B-1(株式会社メトロール)、リミットセンサ：真空タッチセンサ(NORMAL CLOSE)、原点センサ：無、近接原点センサ：無
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