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| https://www.monotaro.com/p/8440/3438/ | 2026/04/17 00:15:07 |
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ULVAC(アルバック)
水晶板 UCRシリーズ |
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| 特長： |
熱による影響は小さく、周波数安定性は高い。 成膜中の温度特性に優れる レート安定性が良いので、より長い時間使用可能 シャッタ開閉時のふらつきや変化(熱衝撃の変化)が小さい 水晶板の入替作業時間を大幅に短縮 CRTMシリーズでの基本性能は確認済み 輻射熱による周波数変化で、成膜中の温度特性に優れています。シャッタ開閉時のふらつきや熱衝撃の変化が小さく、レート安定性も良いので長寿命。マルチセンサ(CRTS-12NS)対応の専用ケースにより、水晶板1枚ずつの取り出しの他、工具を使わずに12枚を即座に交換する事が可能です(特許6802937号)。 |
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| 仕様： | ●発振周波数：6MHz●電極材質：Au(金)●電極表面：標準仕上げ●外径寸法：Φ14●対応成膜コントローラ：CRTMシリーズ全般●用途：メタル膜、光学膜●塔載可能センサ：CRTSシリーズ(シングルセンサ、マルチセンサ)全て●入数：12枚1組 |
| アズワン品番： | 67-6870-71 |
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